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工业显微镜能否自己进行维护，取决于具体的维护内容和显微镜的复杂程度。以下是对此问题的详细分析：

一、可以自己进行的维护

防尘措施：

每次用完显微镜后，用专业的防尘罩将显微镜及其附件遮盖，以防止显微镜镜头及内部光学元件受到尘土的污染。注意，用防尘罩遮盖显微镜前，先让显微镜和灯冷却，以防止出现水汽，因为防尘罩是不耐热的。

定期用吹尘球或软刷清除透镜上的灰尘，保持清洁。

场地干燥：

显微镜应存放在湿度适宜（如60%±10%）的室内，以防止霉变。

日常擦拭：

使用柔软的布或麂皮，轻轻擦拭显微镜的透镜和机身，去除表面灰尘和指纹。

对于涂漆表面，灰尘和松软易脱落的其他污物可以用柔软的刷子或者不起毛的棉布清除；粘性污物可以使用酒精或者成分较低的肥皂水清除（但丙酮、二甲苯或者含硝基的稀释液会损坏显微镜，因此禁止使用）。

对于载物台，由于经常放置各种不同的样品，会比较容易残留污渍，每次使用完都应拿走样品，并清洁载物台，可以使用石蜡油或者不含酸的凡士林将载物台上的淡色污点擦除。

光学元件清洁：

如果目镜和物镜的表面灰尘和污物很少，可以只用洗耳吹或不掉毛柔软毛刷去除。

若灰尘和污物较多，可以准备清洗所需工具，如洗耳吹、棉签、擦镜纸（叠须是专门用于高品质光学镜头的，存储在有盖容器中，防止空气中的悬浮粒子污染）、无绒棉布、无水乙醇、无水乙醚等。擦拭几次后，用洗耳吹吹去混合液。清洁光学元件前请切断电源，避免意外发生。

材料显微镜低倍物镜与天美传媒国产原创AV18有较大的前组镜片，可以用缠在手上的棉布或棉签及擦镜纸上用乙醇乙醚混合液（常用比例为酒精：乙醚=3：7）沾湿后擦拭，使用合适的力度从镜片中心以螺旋状向外擦拭。材料显微镜高倍物镜为了获取高的平坦度，应用了一个有小曲率半径凹面的前组镜头，可以使用棉签沾湿后擦拭，擦拭镜头力度要轻，防止刮擦，并确认清洁到镜头的凹面。注意，物镜不建议取下擦拭，因为物镜安装后需要对同心性和齐焦性进行调试。

机械维护：

定期检查并润滑机械部件，如旋钮和滑轨，保持顺畅。

二、需要专业人员进行的维护

精密组件清洁：

显微镜的一些精密组件，如滤色块、内部光学元件以及相机等，应由厂家专业工程师进行清洁，用户切勿擅自拆解。

专业维护和校准：

定期请专业人员对显微镜进行维护和校准，以确保显微镜的窜佳性能。

综上所述，工业显微镜的部分维护工作可以自己进行，如防尘、日常擦拭、场地干燥等，但一些精密组件的清洁和维护则需要专业人员来进行。在自行维护时，务必遵循正确的步骤和方法，避免对显微镜造成损坏。